磁気軸受は超高速回転装置、潤滑油を使用できないなど特殊環境下の回転機で使用されています。渦電流式変位センサは磁気軸受内で浮上しながら回転するロータの位置を測定し、ロータが軸受中心となり、過大な振動が発生しないように磁力のフィードバック制御に使用されています。

センサおよびターゲットの外部磁界による影響

下図はVCシリーズ変位計のセンサおよびターゲットが外部磁界によってどのような影響を受けるかを示したグラフです。ターゲットに非磁性体(アルミ)、磁性体(鉄)を使い、磁界の方向X・Yによって測定しました。ターゲットが非磁性体であれば磁界の方向がX・Yいずれの方向でも全く影響をうけません。ターゲットが磁性体の場合、磁界の方向がX方向であれば影響を受けませんが、Y方向の場合、磁界が0.05 T程度より影響を受けます。

セレクションガイド

シリーズ VCシリーズ 渦電流式非接触 変位・振動計
製品イメージ
測定レンジ 0 ~ 500 μm
0 ~ 1,000 μm
0 ~ 2,000 μm
直線性 ±1.0 % of F.S.(VC-Cタイプ)
周波数応答(-3 dB) DC ~ 20 kHz(VC-Cタイプ)
センサ使用温度 -10 ~ +130 ℃(標準)
低温用センサ: -253 ℃
高温用センサ: +200 ℃
センサ温度特性 ±0.015 % / ℃(典型値)
特徴
  • 温度特性など安定性に優れています。
  • センサ取り付け部の制約に応じて最適なセンサ形状への対応が可能です。