製品を探す 渦電流式変位センサによる予知保全 / 状態監視アプリケーション集 電力石油・化学機械半導体水処理食薬自動車鉄・非鉄インフラ研究・実験 電力タービン発電機、ボイラ給水ポンプなどの軸振動監視タービン発電機など高速で回転する大型回転機械はロータのわずかなアンバランス、ミスアライメントなどによる軸の振れ回り、あるいはすべり軸受内のオイルの自励振動によって過大な振動を発生する場合があります。 非接触変位センサはこれらの振動の測定に最適なセンサで、タービン監視計器、解析診断に使用されています。 タービン発電機、ボイラ給水ポンプなどの軸位置監視タービン発電機など高速回転機械ではロータの推力をスラストベアリング（軸受）によって受け止めていますが、異常なスラスト移動によるスラストベアリングとロータの接触を防ぐため、渦電流式変位センサによるロータの軸位置監視が行なわれています。蒸気タービンの偏心監視タービンの起動・昇速時にロータの自重たわみ、軸曲がりによる過大な振動の発生を防ぐため渦電流式変位センサでロータの偏心量（P-P）が監視されています。タービンの伸び差監視タービンの起動時、運転中の負荷変動時などにロータと車室（ケーシング）の熱容量の違いによる伸び量の差（伸び差）が発生します。伸び差が過大となった場合、車室内で動翼と静翼が接触する可能性があるため、渦電流式変位センサによってロータと車室との伸び差を監視しています。タービン発電機の回転数監視、ゼロスピード検知タービン発電機の回転数（回転速度、回転加速度）の監視や、タービン停止時のターニングギア接続のためのゼロスピード検知を行ないます。渦電流式変位センサは歯車形状ターゲット、キー溝などの通過時の変位変化を回転パルスとして検知します。 往復動圧縮機（レシプロコンプレッサ）の状態監視往復動圧縮機（レシプロコンプレッサ）のライダーバンドの異常摩耗を原因とするピストンとシリンダーの接触を防ぐため、渦電流式変位センサによるピストンロッドの位置変化が監視されています。 タービン発電機、ポンプ、ファン、圧縮機の回転数測定回転数の測定にはタコジェネレータ（回転計発電機）が、広く使用されていますが、設置温度の制約や回転伝達部の機械的なトラブル、低速度時の精度に課題がある場合があります。渦電流式変位センサによる非接触パルス検出方式への変更は、極低速度から高速まで安定した高精度回転数測定を可能とします。石炭ミル、木質バイオマス用破砕機の状態監視石炭微粉化ミル、木質バイオマス用木材の破砕機の安定稼働は燃料の微粉化による燃焼効率の向上と環境対策として大変、重要です。ローラーミル、木材破砕機のローラの変位や回転部の振動による状態監視は、異常兆候の早期検知、突発的な故障を防止し、状況に応じた適切で効率的なメンテナンスを支援します。空気予熱器シールギャップ測定空気予熱器は、燃焼効率向上のためボイラ排ガスの熱と外気から取り込まれた空気との間で熱交換し、加熱した燃焼用空気をボイラに供給します。空気予熱器の回転部は常温から高温へと温度変化を繰り返し、常に変形しています。高温用渦電流式変位センサは回転部と静止部とのシール部隙間を測定し、センサの出力によって最適なギャップにコントロールされます。 水力タービン発電機の状態監視水力タービン発電機は、ランナへのランダムな加振力やロータのアンバランス、アライメントなどによってロータが振れ回ります。水力タービン発電機の状態監視には渦電流式変位センサにより、ロータの振れ回り、軸振動や軸位置が測定、監視されています。反応槽撹拌機の軸ぶれ監視一般的に撹拌機の軸は長く、片持ちで軸ぶれが発生しやすい構造となっています。軸の振れ回りが過大となると軸の曲がり、破損、シール部や軸受の早期劣化などのトラブルの原因となる場合があります。振動による状態監視は、異常兆候の早期発見、突発的な故障を防止し、状況に応じた適切で効率的なメンテナンスを支援します。石油・化学タービン、コンプレッサ、ポンプなどの軸振動監視タービン、コンプレッサなどすべり軸受で支えられた高速大型回転機械の状態監視、機械保護には、渦電流式変位センサによる軸振動の測定がアメリカ石油協会規格（API 670）で推奨されています。また機器の状態監視により効率的なメンテナンスが行なえます。タービン、コンプレッサ、ポンプなどの軸位置監視大型回転機械の状態監視、機械保護には、ロータのスラスト移動によるスラストベアリングとロータの接触を防ぐため、渦電流式変位センサによる軸位置監視がアメリカ石油協会規格（API 670規格）で推奨されています。 往復動圧縮機（レシプロコンプレッサ）の状態監視往復動圧縮機（レシプロコンプレッサ）のライダーバンドの異常摩耗を原因とする接触を防ぐため、渦電流式変位センサによるピストンロッドの位置変化の測定がアメリカ石油協会規格（API 670）で推奨されています。 貯蔵、反応槽撹拌機の軸ぶれ監視一般的に撹拌機の軸は長く、片持ちで軸ぶれが発生しやすい構造となっています。軸の振れ回りが過大となると軸の曲がり、破損、シール部や軸受の早期劣化などのトラブルの原因となる場合があります。振動による状態監視は、異常兆候の早期発見、突発的な故障を防止し、状況に応じた適切で効率的なメンテナンスを支援します。タービン、コンプレッサ、ポンプの回転数、逆回転監視タービン、コンプレッサ、ポンプの回転数測定や、電動機駆動型ポンプの逆回転（回転方向）監視を行います。渦電流式変位センサは歯車形状ターゲット、キー溝などの通過時の変位変化を回転パルスとして検知します。 タービン、コンプレッサ、ポンプの回転数監視回転数の測定にはタコジェネレータ（回転計発電機）が、広く使用されていますが、設置温度の制約や回転伝達部の機械的なトラブル、低速度時の精度に課題がある場合があります。渦電流式変位センサによる非接触パルス検出方式への変更は、極低速度から高速まで安定した高精度回転数測定を可能とします。 ロールギャップ、平行度、厚さ計測・制御ロール設備（搬送、圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、製品（シート）の蛇行やシワなどの不具合や、製品の厚さムラ、バラツキが発生する場合があります。 ロールギャップ、平行度、厚さ計測・制御ロール設備（搬送、圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、製品（シート）の蛇行やシワなどの不具合や、製品の厚さムラ、バラツキが発生する場合があります。 ロールコータの塗膜厚さ制御ロールコータ設備のロールギャップ、平行度が保たれていない場合、塗膜厚さムラ、バラツキなどの不具合が発生する場合があります。導電体マーカ検知、接続部検知ライン上を高速で流れるシート状製品の継ぎ目などの導電体マーカ（アルミシールなど）を渦電流式変位センサは非接触で確実に検知します。シートの2枚送り検知、有無検知、厚さ測定ライン上のローラ器具の変位（上下動）によってシート状製品の2枚送り検知やシートの有無検知、製品の厚さの計測を行います。高精度タッチロール式厚さ計ゴムシート、フィルム製品、不織布など非導電体シート状製品の厚さを高精度に測定します。カレンダロール（圧延・圧縮）の制御やライン上での品質検査に使用されています。非導電体シートの非接触厚さ計測渦電流式変位センサと光学式変位センサを組み合わせることにより、シート製品、フィルム製品など非導電体シートの厚さを非接触で高精度に測定します。塗膜厚さ計測金属の表面にコーティングされた塗膜の厚さムラを測定します。接触面となる渦電流式変位センサの先端には耐摩耗性の高いルビーあるいは樹脂を取り付けます。 塗膜厚さ計測走査用のローラ器具と渦電流式変位センサを組み合わせ、金属の表面にコーティングされた塗膜の厚さを測定します。振動フィーダ、スクリーンなど振動台の振動測定、監視粉粒体などを安定供給する振動フィーダ、振動コンベアなどの振動搬送機、ふるい機などの振動機器の加振状態を測定、監視します。機器の状態監視により効率的なメンテナンスが行なえます。機械金属板厚さ、形状、そり測定非接触で金属板の厚さ、形状、そりを測定します。上下方向に対向して取り付けられた渦電流式変位センサは、その間を通る金属板表面までのギャップにより厚さ、表面形状、板そりを測定します。金属板幅方向厚さ分布測定非接触で金属板の幅方向の厚さ分布を測定します。アームの上下に対向して取り付けられた渦電流式変位センサを金属板上の幅方向に走査させることにより厚さの分布を測定します。回転角度、位置決め回転動作するシャフトに取り付けられた偏心円状ターゲットの回転による変位（ギャップ）変化によって非接触で回転角を測定します。ロールコータの塗膜厚さ制御ロールコータ設備のロールギャップ、平行度が保たれていない場合、塗料、塗膜の厚さムラ、バラツキなどの不具合が発生する場合があります。ロールギャップ、平行度、厚さ計測・制御ロール設備（搬送、圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、製品（シート）の蛇行やシワなどの不具合や、製品の厚さムラ、バラツキが発生する場合があります。 ロールギャップ、平行度、厚さ計測ロール設備（搬送、圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、製品（シート）の蛇行やシワなどの不具合や、製品の厚さムラ、バラツキが発生する場合があります。往復動装置のリング摩耗、ピストンギャップ測定往復動装置の摺動リングの摩耗量、ピストンとシリンダの隙間をピストンロッドの位置変化（ロッドドロップ）によって測定、監視します。機器の状態監視により効率的なメンテナンスが行なえます。熱膨張、熱変形測定機械加工装置、構造体における切削熱、部分発熱、周囲温度の上昇・変化による熱変位や変形、位置ずれを非接触で測定します。 シートの2枚送り検知、有無検知、厚さ測定ライン上のローラ器具の変位（上下動）によってシート状製品の2枚送り検知やシートの有無検知、厚さの計測を行います。 ロボットアームの精度、位置決め試験ロボットアームのX-Y-Z方向の位置精度、繰り返し再現性の試験を行います。 振動フィーダ、スクリーンなど振動台の振動測定、監視粉粒体、小型パーツなどを安定供給する振動フィーダ、振動コンベアなどの振動搬送機、ふるい機などの振動機器の加振状態を渦電流式変位センサにより非接触で測定、監視します。振動の状態監視により適切なメンテナンスが行なえます。 スリッター、カッターのブレード振動、刃欠け検知非接触でブレードの振れ、振動を渦電流式変位センサで測定します。切断面の品質維持と異常な振動の早期発見により、ブレードの長寿命化、トラブルの防止、適切なメンテナンスが行なえます。ブレード変位、振動測定非接触でブレードの振れ、振動を渦電流式変位センサによって測定します。切断面の品質維持とブレードの異常な振動を早期に発見し、ブレードの長寿命化、トラブルの防止、適切なメンテナンスが行なえます。 回転数測定、逆回転方向検知電動機駆動型ポンプなど回転機械装置の極低速から高速回転数測定や、逆回転（回転方向）監視を行います。渦電流式変位センサは歯車形状ターゲット、キー溝などの通過時の変位変化を回転パルスとして検知します。溶接部検知、継ぎ目検知渦電流式変位センサは、金属との変位（ギャップ）が一定であっても被測定面の電気的特性の違いによって見かけ上の変位が変化します。この特性を利用し、非接触で溶接部、継ぎ目を検知します。精密高速回転体の軸ぶれ、バランス調整高速で回転する電子部品などの軸の振れ回り、挙動を非接触で測定します。X-Yの2方向から軸ぶれ測定、スラスト方向の振動、移動量を測定することにより、精細な挙動解析が行なえます。磁気軸受制御、制振制御磁気軸受は超高速回転装置、潤滑油を使用できないなど特殊環境下の回転機で使用されています。渦電流式変位センサは磁気軸受内で浮上しながら回転するロータの位置を測定し、ロータが軸受中心となり、過大な振動が発生しないように磁力のフィードバック制御に使用されています。鋼板位置制御、制振制御鋼板の位置、振動を渦電流式変位センサで測定し、鋼板の位置を一定に保ち、振動を抑えるよう磁力の制御を行ないます。工作機主軸振動、熱変位測定工作機の始業前や工作中、定期的な検査で主軸の振れ回り、振動、熱変位を非接触で測定します。状態基準による効率的なメンテナンスが行なえます。 精密ステージ、位置決めテーブルの変位測定顕微鏡ステージ、精密位置決めテーブルの位置測定、位置決め、平行測定、フィードバックに使用されます。高精度タッチロール式厚さ計ゴムシート、フィルム製品、不織布など非導電体シート状製品の厚さを高精度に測定します。カレンダロール（圧延・圧縮）の制御、ライン上での品質検査に使用されています。非導電体シートの非接触厚さ計測渦電流式変位センサと光学式変位センサを組み合わせることにより、シート製品、フィルム製品など非導電体シート状製品の厚さを非接触で測定します。ターボ機械の軸振動測定すべり軸受など流体軸受を使用した回転機械の起動、運転中、停止時の健全性確認と異常兆候の解析診断のため渦電流式変位センサにより軸振動、ロータの振れ回りを測定します。振動による状態監視は、突発的な故障を防止し、状況に応じた適切で効率的なメンテナンスを支援します。 ターボ機械の軸位置監視ロータの異常なスラスト移動によるスラストベアリングとロータの接触を防ぐため、渦電流式変位センサによりロータの軸位置測定が行なわれています。旋盤加工バイト変位測定精密、複雑な金属切削加工においてバイト（切削工具）の送り量と位置の数値化は精度の高い加工と熟練技術の伝承につながります。また加工精度、生産性の低下原因となるビビり（振動）発生の検知により、加工条件の変更や整備、メンテナンスが効率的に行なえます。 半導体ワイヤソー、ブレードの変位、振動測定シリコンインゴットのスライス装置では、均一な厚さで切断面が平坦な高品質のシリコンウェーハに加工するため、渦電流式変位センサが使用されています。 シリコンウェーハ研磨装置（ラッピング装置）研磨装置の上盤と下盤の隙間を渦電流式変位センサで測定し、隙間を制御することにより、均一な厚さと高い平坦度の高品質シリコンウェーハに加工します。精密ステージ、位置決めテーブルの変位測定顕微鏡ステージ、精密位置決めテーブルの位置測定、位置決め、平行測定、フィードバックに使用されます。ロボットアームの精度試験、位置決めロボットアームのX-Y-Z方向の位置精度、繰り返し再現性の試験を行います。水処理貯蔵、反応槽撹拌機の軸ぶれ監視一般的に撹拌機の軸は長く、片持ちで軸ぶれが発生しやすい構造となっています。軸の振れ回りが過大となると軸の曲がり、破損、シール部や軸受の早期劣化などのトラブルの原因となる場合があります。振動による状態監視は、異常兆候の早期発見、突発的な故障を防止し、状況に応じた適切で効率的なメンテナンスを支援します。大型ポンプ、ブロワの軸振動測定河川ポンプ設備など水中軸受、すべり軸受型の大型ポンプなどでは軸受部、減速機の振動監視とともに回転軸の振れ回りを測定し、アンバランス、ミスアライメント、インペラーなどの状態監視により、劣化状況を把握し効率的なメンテナンスが行なわれます。 回転数測定、回転方向検知電動機駆動型ポンプなど回転機械装置の極低速から高速回転数測定や、逆回転（回転方向）監視を行います。渦電流式変位センサは歯車形状ターゲット、キー溝などの通過時の変位変化を回転パルスとして検知します。 ロールギャップ、平行度、圧縮計測ロール設備（圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、ベルトの蛇行やシワなどの不具合発生や摩耗、軸受劣化など設備寿命へ影響する場合があります。 往復動圧縮機（レシプロコンプレッサ）の状態監視往復動圧縮機（レシプロコンプレッサ）のライダーバンドの異常摩耗を原因とする接触を防ぐため、渦電流式変位センサによるピストンロッドの位置変化（ロッドドロップ）の測定が有効です。ポンプ、ブロワの回転数監視回転数の測定にはタコジェネレータ（回転計発電機）が、広く使用されていますが、設置温度の制約や回転伝達部の機械的なトラブル、低速度時の精度に課題がある場合があります。渦電流式変位センサによる非接触パルス検出方式への変更は、極低速度から高速まで安定した高精度回転数測定を可能とします。食薬貯蔵、反応槽撹拌機の軸ぶれ監視一般的に撹拌機の軸は長く、片持ちで軸ぶれが発生しやすい構造となっています。軸の振れ回りが過大となると軸の曲がり、疲労破損、シール部や軸受の早期劣化などのトラブルの原因となる場合があります。振動による状態監視は、異常兆候の早期発見、突発的な故障を防止し、状況に応じた適切で効率的なメンテナンスを支援します。 麺帯圧延機、ロールギャップ、平行度、厚さ計測麺帯圧延機やロール設備（搬送、圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、製品の厚さムラ、バラツキの発生や蛇行やシワなどの不具合が発生する場合があります。ロールギャップ、平行度、厚さ計測・制御ロール設備（搬送、圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、製品（シート）の蛇行やシワなどの不具合や、製品の厚さムラ、バラツキが発生する場合があります。ロールコータの塗布厚さ制御ロールコータ設備のロールギャップ、平行度が保たれていない場合、塗布量のムラ、バラツキなどの不具合が発生する場合があります。スリッター、カッターのブレード変位、振動測定非接触でブレードの振れ、振動を渦電流式変位センサで測定します。状態監視により切断面の品質維持と機器の異常な振動の早期発見、ブレードの長寿命化、効率的なメンテナンスが行なえます。ブレード変位、振動測定非接触でブレードの振れ、振動を渦電流式変位センサで測定します。機器の状態監視により切断面の品質維持と機器の異常な振動の早期発見、ブレードの長寿命化、効率的なメンテナンスが行なえます。振動フィーダ、スクリーンなど振動台の振動測定、監視粉粒体などを安定供給する振動フィーダ、振動コンベアなどの振動搬送機、ふるい機などの振動機器の加振状態を測定、監視します。機器の状態監視により効率的なメンテナンスが行なえます。ポンプの回転数測定、逆回転方向検知電動機駆動型ポンプなど回転機械装置の極低速から高速回転数測定や、逆回転（回転方向）監視を行います。渦電流式変位センサは歯車形状ターゲット、キー溝などの通過時の変位変化を回転パルスとして検知します。 金属製容器の変形検知、数量カウント渦電流式変位センサで金属製容器との距離を測定し、容器の変形や有無、数量のカウントを行ないます。 ロボットアームの精度試験、位置決めロボットアームのX-Y-Z方向の位置精度、繰り返し再現性の試験を行います。 粉粒体の流量計測、異物検知粉粒体の落下による検出板の変位を測定し、流量計測、異物（固形物など）の検知を行ないます。往復動装置のリング摩耗、ピストンギャップ測定往復動装置の摺動リングの摩耗量、ピストンとシリンダの隙間をピストンロッドの位置変化（ロッドドロップ）によって測定、監視します。機器の状態監視により効率的なメンテナンスが行なえます。シートの2枚送り検知、有無検知、厚さ測定ライン上のローラ器具の変位（上下動）によってシート状製品の2枚送り検知やシートの有無検知、厚さの計測を行います。回転角度、位置決め回転動作するシャフトに取り付けられた偏心円状ターゲットの回転による変位（ギャップ）変化によって非接触で回転角を測定します。果実の成長観察人工植物栽培による環境条件と果実などの微小な生育状況を観測します。渦電流式変位センサは高温、低温、降雨、多湿環境下でも使用できます。（果実などの計測箇所にはアルミ箔などの軽量なターゲット材を貼り付けます。） 自動車ピストン、シリンダ隙間測定（センサ埋め込み）エンジンの実験、試験にてピストン内に小型渦電流式変位センサを取り付け、シリンダ内でのピストンの挙動、シリンダの熱変形による隙間変化を動的に測定します。 バルブの開度計測・電子制御エンジンバルブの上下動変位を渦電流式変位センサで測定し、バルブ開度を計測します。工作機主軸振動、熱変位測定工作機の始業前や工作中、定期的な検査で主軸の振れ回り、振動、熱変位を非接触で測定します。 状態基準による適切なメンテナンスが行なえます。 高速回転機器の軸ぶれ、バランス調整高速回転機器の軸の振れ回り、挙動を非接触で渦電流式変位センサで測定します。X-Yの2方向から測定することにより、より精細な挙動解析が行なえます。旋盤加工バイト変位測定精密、複雑な金属切削加工においてバイト（切削工具）の軸方向への送り量と位置の数値化は精度の高い加工と熟練技術の伝承につながります。また加工精度、生産性の低下原因となるビビり（振動）発生の検知により、加工条件の変更や効率的な整備、メンテナンスが行なえます。 回転角度、位置決め回転動作するシャフトに取り付けられた偏心円状ターゲットの回転による変位（ギャップ）変化によって非接触で回転角を測定します。 ロボットアームの精度試験、位置決めロボットアームのX-Y-Z方向の位置精度、繰り返し再現性の試験を行います。鉄・非鉄金属板厚さ、形状、そり測定対向して取り付けられた渦電流式変位センサにより、金属板までのギャップを測定することにより、厚さ、表面形状、板そりを測定します。またメッキラインで鋼板の位置、そりの制御やエアーパージノズルのギャップコントロールにも使用されています。また、メッキラインにおいて測定された変位量は鉄板の位置、そりの制御やエアーパージノズルのギャップコントロールにも使用されています。金属板幅方向厚さ分布測定非接触で金属板の幅方向の厚さ分布を測定します。アームの上下に対向して取り付けられた渦電流式変位センサを金属板上を幅方向に走査させることにより厚さの分布を測定します。 ロールギャップ、平行度、厚さ計測・制御ロール設備（搬送、圧延、圧縮）においてロール間のギャップ、平行度が保たれていない場合、設備の早期劣化、故障や、鋼板の蛇行やキズなどの不具合が発生する場合があります。モールドオシレーション測定連続鋳造用モールドのオシレーション（波形）を渦電流式変位センサで測定します。加振装置のコントロール、状態監視による効率的な整備、メンテナンスが行なえます。熱膨張、熱変形測定機械加工装置、構造体における切削熱、部分発熱、周囲温度の上昇、変化などによる熱変位や変形、位置ずれを測定します。 溶融金属レベル測定連続使用周囲温度600 ℃の高温用渦電流式変位センサにより、アルミニウムなどの溶融あるいは高温表面温度の金属までのギャップを測定します。（センサ最大測長: 25 mm）鋼板位置制御、制振制御対向して取り付けられた渦電流式変位センサにより、金属板までのギャップを測定することにより、厚さ、表面形状、板そりを測定します。またメッキラインで鋼板の位置、そりの制御やエアーパージノズルのギャップコントロールにも使用されています。圧延機ロールのジャッキアップ測定、スラスト変位測定仕上げ圧延機では運転開始前に停止状態で落下保持されているロールを油圧によってジャッキアップし、油膜形成後、回転を開始します。ロールの浮上確認は油圧とともに渦電流式変位センサによってロールの浮上量が測定されています。またロールのスラスト方向への移動は板厚へ悪影響となる場合があります。圧延中のスラスト変位測定によって製品の品質管理とともにスラストベアリングの劣化監視、状態監視による効率的な整備、メンテナンスが行なえます。溶接部検知、継ぎ目検知渦電流式非接触変位センサは、金属との変位（ギャップ）が一定であっても被測定面の電気的特性の違いによって見かけ上の変位が変化します。この特性を利用し、非接触で溶接部、継ぎ目を検知します。インフラ地盤変位計測、傾斜計測基礎（基準）部に取り付けられた渦電流式変位センサと地盤上あるいは地盤中に埋設された金属製ターゲットとの変位（ギャップ）変化を測定し、地盤の変位、傾斜の状況を測定します。 水平レベル、傾斜計測パイプでつながれた複数の容器内の渦電流式変位センサと液体上のフロートの変位（高さ）を計測することにより、容器間の水平レベル、傾斜を計測します。（フロートの測定面には金属箔などを貼り付け、測定ターゲットとします。） 熱膨張、熱変形測定構造体における部分発熱、周囲温度の変化などによる熱変位や変形、位置ずれを測定します。構造体が金属以外の場合、被測定箇所にアルミ箔などを貼り付けることにより測定が可能となります。構造物の変形、そり測定構造体の変形、変位、そり、振動を測定します。構造体が金属（導電体）以外の場合は、測定対象箇所にアルミ箔などを貼り付けることにより計測が可能となります。 回転角度測定回転角度を非接触で測定します。渦電流式変位センサは、回転シャフトに取り付けられた偏心円状のターゲットとのギャップによって回転角を測定します。圧縮試験機、引張試験機の変位計測試験機の作動部が直接、試料（試験片）へ加圧、接する部位の変位を測定することにより、試料のより精細な変形、過渡現象を測定することができます。摩耗・摺動試験機の変位計測試験機の荷重・接触子が試料（試験体）と接する部位の変位を測定することにより、試料のより精細な摩耗、過渡現象を測定することができます。バルブ、ゲートの開度測定振動の激しい環境などに設置されたバルブ、ゲートなどの開度（移動量）の測定に適しています。 大型ポンプの軸振動測定河川ポンプ設備など水中軸受、すべり軸受型の大型ポンプなどでは軸受部、減速機の振動監視とともに回転軸の振れ回りを測定し、アンバランス、ミスアライメント、インペラーなどの状態監視と状態基準による効率的なメンテナンスが行なえます。 研究・実験精密高速回転部品の軸ぶれ測定高速で回転する電子部品などの軸の振れ回り、挙動を非接触で測定します。X-Yの2方向から軸ぶれ測定、スラスト方向の振動、移動量することにより、精細な挙動解析が行なえます。地盤変位計測、傾斜計測基礎（基準）部に取り付けられた渦電流式変位センサと地盤上あるいは地盤中に埋設された金属製ターゲットとの変位（ギャップ）変化を測定し、地盤の変位、傾斜の状況を測定します。熱膨張、熱変形測定構造体における部分発熱、周囲温度の変化などによる熱変位や変形、位置ずれを測定します。構造体が金属以外の場合、被測定箇所にアルミ箔などを貼り付けることにより測定が可能となります。水平レベル、傾斜計測パイプでつながれた複数の容器内の渦電流式変位センサと液体上のフロートの変位（高さ）を計測することにより、容器間の水平レベル、傾斜を計測します。（フロートの測定面には金属箔などを貼り付け、測定ターゲットとします。） 寸法計測、微小脈動計測被測定対象物に対して、接触子を極わずかな押し付け力で接触させ、接触子の動き（変位）を計測します。接触子を垂直方向にも取り付けることにより、立体的な変化、脈動の計測も可能です。果実の成長観察人工植物栽培による環境条件と果実などの微小な生育状況を観測します。渦電流式変位センサは高温、低温、降雨、多湿環境下でも使用できます。（果実などの計測箇所にはアルミ箔などの軽量なターゲット材を貼り付けます。） ショックアブソーバ減衰、緩衝実験ショックアブソーバの荷重、衝撃に対する減衰、緩衝など動的な変位を測定します。 圧縮試験機、引張試験機の変位計測試験機の作動部が直接、試料（試験片）へ加圧、接する部位の変位を測定することにより、試料のより精細な変形、過渡現象を測定することができます。摩耗・摺動試験機の変位計測試験機の荷重・接触子が試料（試験体）と接する部位の変位を測定することにより、試料のより精細な摩耗、過渡現象を測定することができます。 すべり軸受の振動解析・診断実習用ロータキットすべり軸受で支えられた回転機械で発生する異常振動現象を実際に発生させ、ロータの振動発生のメカニズム、特徴、解析・診断方法とバランス調整方法が学べます。
