シリコンウェーハや各種製品・試料の精密切断において切断面の平行度、平坦度の加工精度を維持することが加工ロスの低減、生産効率の向上に繋がります。薄板上にダイヤモンド粉などがコーティングされたブレードは長時間の切削によって目詰まりが進行し、切削面の品質精度に悪影響を及ぼす場合があります。このブレードのわずかな変化(変位・そり)を渦電流式変位センサによって連続測定・監視することにより適切なメンテナンスが行なえ、加工品の高品質維持と生産効率を高めることができます。

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渦電流式変位センサの外観

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▲渦電流式非接触変位計(Quick RIVERNEW)

渦電流式変位センサの特長

  • 非接触高分解能測定
    高速で回転するブレードの変位を非接触で高分解能測定します。
  • 耐環境性
    切削熱による温度上昇や周囲温度の環境変化にも安定した測定が可能です。
    またセンサとブレード間のクーラント、切削油も測定への影響を受けません。
  • センサ部保護等級
    IPX7(Quick RIVERNEW)
  • ゼロシフト機能
    接点入力で出力信号を0 VDCにゼロシフト。(Quick RIVERNEW)
    切削開始位置(原点)から切削中の変位変化を分かりやすく測定できます。

測定構成例

0 ~ 2 mm用センサ使用時

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▲ブレードの変位と渦電流式変位センサの出力(ギャップ対出力信号のイメージ)
*ゼロシフト機能
切削開始位置(原点)で接点をCLOSEすれば出力電圧を0 VDCにシフトできます。

対象機械例

内周刃切削装置 / 外周刃切削装置 / バンドソー / ワイヤーソー(ディスク変位)

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セレクションガイド

シリーズ Quick RIVERNEW
FA/ラボ用非接触変位計
VCシリーズ
渦電流式非接触 変位・振動計
製品
イメージ
測定レンジ 0 ~ 2,000 μm
0 ~ 5,000 μm
0 ~ 10,000 μm
0 ~ 500 μm
0 ~ 1,000 μm
0 ~ 2,000 μm
0 ~ 4,000 μm
0 ~ 6,000 μm
0 ~ 8,000 μm
0 ~ 10,000 μm
0 ~ 15,000 μm
0 ~ 25,000 μm
出力信号 0 ~ 5 VDC 0 ~ 5 VDC
直線性 Typ. ±1.0 % of F.S.
(ターゲット材質: S45C、SUS304など)
±0.5 % of F.S.(VC-Mタイプ)
±1.0 % of F.S.(VC-Cタイプ)
周波数応答
(-3 dB)
DC ~ 100 Hz DC ~ 1 kHz(VC-Mタイプ)
DC ~ 20 kHz(VC-Cタイプ)
センサ使用温度 -10 ~ +70 ℃ -10 ~ +130 ℃(標準)
低温用センサ: -253 ℃
高温用センサ: +200 ℃
特徴
  • 1台のアンプでターゲット材質、測定レンジ、ケーブル長に合わせて簡単に現場キャリブレーションできます。
  • センサからアンプまでの距離は3 mまたは10 mに調整可能です。
  • 温度特性など安定性に優れています。
  • センサ取り付け部の制約に応じて最適なセンサ形状への対応が可能です。

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液体水素、LNGなどで極低温、高圧雰囲気など厳しい環境下での変位・振動を測定できる特殊用途センサの製作で、多様なニーズにお応えします。