研磨装置、ラッピング装置の厚さ監視・制御 ◆ 研磨・仕上げ精度の維持・向上 ◆ 装置の状態監視と異常兆候検知 ◆ 点検・調整の省力化 ◆ 装置の信頼性向上、性能改良 シリコンウェーハ、光学製品や各種精密部品の研磨、表面仕上げ加工を行なう研磨、ラッピング装置において、加工品の厚さ精度、平坦度などの精度を維持と同時に加工ロスの低減、生産効率の向上が求められます。ラッピングマシンは回転する上下の定盤は連続運転中に研磨による発熱や周囲環境温度の影響を受け、熱変位により隙間が変化します。この隙間を渦電流式変位センサによって連続的に測定し、上下定盤の隙間（ギャップ）を監視・制御することにより適切な加工管理が行なえ加工品の高品質維持と生産効率を高めることができます。 渦電流式変位センサの外観 渦電流式変位センサの特長 測定構成例（0 ～ 2 mm用センサ使用時） セレクションガイド 関連製品 関連コラム 渦電流式変位センサの外観 ▲左：渦電流式非接触変位計（Quick RIVERNEW） ／ ▲右：渦電流式変位センサ（VCシリーズ） 渦電流式変位センサの特長 非接触高分解能測定 高速で回転する上下定盤の隙間（変位）を非接触でマイクロメートル（μm）の単位で高精度測定します。 耐環境性 変位センサと定盤間の研磨剤、クーラント液も測定への影響を受けません。 また低温から高温への環境変化にも安定した測定が可能です。 センサ部保護等級 IPX7（Quick RIVERNEW） 測定構成例（0 ～ 2 mm用センサ使用時） ▲上下定盤の隙間と渦電流式変位センサの出力（ギャップ対出力信号のイメージ） ＊ゼロシフト機能 ギャップ0 mmあるいは基準スキマ（mm）位置で接点をCLOSEすれば出力電圧を0 VDCにシフトできます。 セレクションガイド シリーズ Quick RIVERNEW FA/ラボ用非接触変位計 VCシリーズ 渦電流式非接触 変位・振動計 製品 イメージ 測定レンジ 0 ～ 2,000 μm 0 ～ 5,000 μm 0 ～ 10,000 μm 0 ～ 500 μm 0 ～ 1,000 μm 0 ～ 2,000 μm 0 ～ 4,000 μm 0 ～ 6,000 μm 0 ～ 8,000 μm 0 ～ 10,000 μm 0 ～ 15,000 μm 0 ～ 25,000 μm 出力信号 0 ～ 5 VDC 0 ～ 5 VDC 直線性 Typ. ±1.0 % of F.S. （ターゲット材質: S45C、SUS304など） ±0.5 % of F.S.（VC-Mタイプ） ±1.0 % of F.S.（VC-Cタイプ） 周波数応答 （-3 dB） DC ～ 100 Hz DC ～ 1 kHz（VC-Mタイプ） DC ～ 20 kHz（VC-Cタイプ） センサ使用温度 -10 ～ +70 ℃ -10 ～ +130 ℃（標準） 低温用センサ: -253 ℃ 高温用センサ: +200 ℃ センサ温度特性 -0.05 % / ℃（典型値） （0 ～ 2,000 μm レンジ） ±0.015 % / ℃（典型値） 特徴 1台のアンプでターゲット材質、測定レンジ、ケーブル長に合わせて簡単に現場キャリブレーションできます。 センサからアンプまでの距離は3 mまたは10 mに調整可能です。 温度特性など安定性に優れています。 センサ取り付け部の制約に応じて最適なセンサ形状への対応が可能です。 関連製品 Quick RIVERNEW FA/ラボ用非接触変位計 レンジフリーのアンプは簡単な３ステップのキャリブレーションで2 mm、5 mm、10 mmの3種類の測定レンジのセンサと延長ケーブルの追加ができます。FAやラボ（試験・研究）のシーンで手軽に変位計測を可能にします。VCシリーズ 渦電流式非接触変位・振動計 世界トップクラスのセンサ温度特性と0.5 mmから25 mmまでの測定レンジを標準でラインナップ。センサの形状、耐環境性能などアプリケーションニーズに合わせたカスタマイズ設計も可能です。産業用機械への組み込み、研究・実験用として最適なシリーズです。VGシリーズ 高温用変位計 世界最高のセンサ連続使用温度 Max.600 ℃。高温ロケーションでの変位計測を可能にした変位計。鉄鋼の連続鋳造設備や、各種高温下での変位、挙動計測に真価を発揮するセンサです。VNDシリーズ 高精度タッチロール式厚さ計 渦電流式変位センサを採用した高精度タッチロール式厚さ計。渦電流式を採用しているため光学式や超音波式、放射線式に比べ取り扱いが簡単で、水や油、ほこりなどの影響を受けず、高分子フィルムやゴムシート、不織布などの厚さを高精度に連続的に測定します。VI-Cシリーズ 工業用変位・振動計 「工業計器」として必要な安全性、遠隔伝送、保守性などを備えた本質安全防爆タイプの渦電流式非接触変位・振動センサです。本質安全防爆構造により石油・石油化学プラント、ガスプラント、化学プラントなど各種産業プラントで爆発性ガス雰囲気における変位・振動の計測・監視に最適です。特殊用途センサ 液体水素、LNGなどで極低温、高圧雰囲気など厳しい環境下での変位・振動を測定できる特殊用途センサの製作で、多様なニーズにお応えします。関連コラム ▼ 渦電流変位センサの原理と特徴 渦電流式変位センサの原理と特徴 渦電流変位センサの原理と特徴 vol.1 ～ 原理と特徴（概要） ～ 渦電流変位センサの原理と特徴 vol.2 ～ 励磁方式・取扱い上の注意 ～ 渦電流変位センサの原理と特徴 vol.3 ～取扱い上の注意～ 渦電流変位センサの原理と特徴 vol.4 ～ エレクトリカルランナウト～ ▼ 磁気浮上と渦電流式変位センサ 磁気浮上と渦電流式変位センサ ▼ 鉄道の安全と渦電流式変位センサ その1 軌道検測 その2 地点検知
