顕微鏡ステージ、精密位置決めテーブルの位置測定、位置決め、平行測定、フィードバックに使用されます。
セレクションガイド
| シリーズ | Quick RIVERNEW FA/ラボ用非接触変位計 |
VCシリーズ 渦電流式非接触 変位・振動計 |
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| 製品イメージ |  |
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| 測定レンジ | 0 ～ 2,000 μm 0 ～ 5,000 μm 0 ～ 10,000 μm |
0 ～ 500 μm 0 ～ 1,000 μm 0 ～ 2,000 μm 0 ～ 4,000 μm 0 ～ 6,000 μm 0 ～ 8,000 μm 0 ～ 10,000 μm 0 ～ 15,000 μm 0 ～ 25,000 μm |
| 直線性 | Typ. ±1.0 % of F.S. （ターゲット材質: S45C、SUS304など） |
±0.5 % of F.S.（VC-Mタイプ） ±1.0 % of F.S.（VC-Cタイプ） |
| センサ使用温度 | -10 ～ +70 ℃ | -10 ～ +130 ℃（標準） 低温用センサ: -253 ℃ 高温用センサ: +200 ℃ |
| センサ温度特性 | -0.05 % / ℃（典型値） （0 ～ 2,000 μmレンジ） |
±0.015 % / ℃（典型値） |
| 特徴 |
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