インフィニートフォーカスは、高精度・超高速・高自由度の光学式 3D 測定システムです。

3D マイクロ座標測定機と表面粗さ測定機の機能を 1 システムに集約し、同軸落射照明と最適化 LED リングライトにより、従来機よりも測定可能面の範囲が格段に広がりました。さらにインフィニートフォーカスの全軸に高精度エンコーダを装備し高精度のステージ移動を確保しています。これにより、「高解像度」「高再現性」「高精度」でトレーサブルな測定結果を 3D データとして得ることができます。

全焦点光学式非接触三次元測定器 インフィニートフォーカス G5

クラス最高の光学式形状 & 粗さ測定システム

インフィニートフォーカスは、高精度・超高速・高自由度の光学式 3D 測定システムです。

3D マイクロ座標測定機と表面粗さ測定機の機能を 1 システムに集約し、同軸落射照明と最適化 LED リングライトにより、従来機よりも測定可能面の範囲が格段に広がりました。さらにインフィニートフォーカスの全軸に高精度エンコーダを装備し高精度のステージ移動を確保しています。これにより、「高解像度」「高再現性」「高精度」でトレーサブルな測定結果を 3D データとして得ることができます。

焦点移動法に基づいた高精度測定

焦点移動法では光学系の Z 軸を走査しながらイメージセンサーで連続して画像を取り込み、各ピクセル毎の焦点が合った像を合成して 3D 画像を作成します。


特徴

独自の測定技術で、研究開発、加工・製造・品質保証をバックアップ

  • 形状 & 粗さをオールインワンで測定
    1 つの測定データから形状測定と粗さ測定が行える汎用性の高い測定機です。
    また、粗さ測定は線粗さとエリア粗さ（ISO25178 準拠）の 2 種を標準装備しています。
  • 80° 以上の急峻面の測定に対応
    白色 LED を使用した焦点移動法による測定原理、リングライトや偏光フィルターなどの機能により、これまで困難であった急峻面の測定が可能です。
  • 高いワーキングディスタンスで測定の汎用性・自由度が向上
    他の測定原理による非接触三次元測定機と比較し、高いワーキングディスタンスを確保しています。
    特に対物レンズ 50 倍、100 倍などの高倍率では顕著です。（アリコナは 100 倍レンズ使用時でワーキングディスタンスが約 4.5mm です）
  • 各種金属・樹脂・セラミックスなどの様々な材質の測定に対応
    様々な材質で特別な表面処理を必要とせず、オリジナルの表面状態で測定が可能です。また、異材種が混在した測定（反射率の異なる異材質を同時に測定する場合）にも対応しています。
  • 垂直分解能 10nm、広範囲でも高密度な点群データで高精度な測定
    ミクロンレベルの精度保証を裏付ける高分解能な測定機です。広い測定範囲においても点群データの間隔が狭く高密度な 3D データを提供します。
  • 360° 全周、6 面全体の全方位測定に対応
    オプションのアドバンスト Real3D 回転ユニットを活用することによりエンドミルやドリルなどの全周測定が可能です。
  • 高分解能が必要なリバースエンジニアリングにも対応
    ナノレベルの分解能と 3D 点群間隔を有し、STL などの 3D データへ出力できるため、精度を要するリバースエンジニアリングに対応しています。
  • ISO 規格（4287（JIS B0601）、4288（JIS B0633）、25178（JIS B0681））の粗さ測定に準拠

用途

幅広い業界でのマイクロ・精密部品や微細構造表面

インフィニートフォーカスを使用した、工具および金型製作の品質保証は世界標準です。

品質保証と生産ライン内測定には、切削エッジ測定やドリル・エンドミル・インサートなどの全形形状・粗さ測定も含まれています。他にも微細加工、自動車産業、医療機器開発および製薬工業、射出成型、航空宇宙産業、電気電子部品、印刷、犯罪科学において、インフィニートフォーカスを材料・プロセス最適化で活用することで最大限の収益を上げています。

仕様

【全般仕様】

 測定原理  焦点移動法にもとづく光学式非接触三次元測定(非接触式三次元測定機)
 測定結果  表面性状を最大 3.5M バイトの 3D 情報をもとに高精度かつリアルカラーで表示
 測定テーブル移動距離  100 mm x 100 mm (200 mm x 200 mm：カスタマイズ)
 垂直方向移動距離  100 mm

 

【対物レンズ仕様】

 対物レンズの倍率  標準タイプ  SXタイプ ※
 2.5倍  5倍  10倍  20倍  50倍  100倍  10倍  20倍
 最小水平分解能  μm  7.04  3.52  1.76  0.88  0.64  0.44  1.76  1.76
 最小垂直分解能  nm  2300  410  100  50  20  10  250  100
 ワーキングディスタンス  mm  8.8  23.5  17.5  19.0  11  4.5  37  30
 視野範囲（X方向）  μm  5630  2820  1620  810  320  160  1620  700
 視野範囲（Y方向）  μm  5630  2820  1620  810  320  160  1620  700

※：ワーキングディスタンスの広いタイプ

【精度】

 線粗さ  Ra = 100 nm  U = 25 nm, σ = 2 nm
 Ra = 500 nm  U = 40 nm, σ = 2 nm
 エリア粗さ  Sa = 100 nm  U = 20 nm, σ = 2 nm
 Sa = 500 nm  U = 30 nm, σ = 2 nm
 平坦度  1 mm x 1 mm （10 倍レンズ）  U = 0.1 µm
 高さ測定  z = 10000 µm  EUni:St:ODS,MPE = 800 nm, σ = 0.4 μm
 z = 1000 µm  EUni:St:ODS,MPE = 500 nm, σ = 0.1 μm
 z = 100 µm  EUni:St:ODS,MPE = 400 nm, σ = 0.05 μm
 z = 10 µm  EUni:St:ODS,MPE = 300 nm, σ = 0.025 μm
 z = 1 µm  EUni:St:ODS,MPE = 150 nm, σ = 0.01 μm
 幅測定  xy bis 1 mm  EBi:Tr:ODS,MPE = 0.7 µm
 xy bis 10 mm  EBi:Tr:ODS,MPE = 1.0 µm
 xy bis 20 mm  EBi:Tr:ODS,MPE = 2.0 µm
 エッジ角度  β = 70…110°  U = 0.15°, σ = 0.02°
 エッジ R  R = 5 µm – 20 µm  U = 1.5 µm, σ = 0.15 µm
 R > 20 µm  U = 2 µm, σ = 0.3 µm

EUni:St:ODS,MPE & EBi:Tr:ODS,MPE: ISO10360-8:2013 に準拠

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2016/08/02 HOTな製品情報

クラス最速の全焦点光学式形状 & 粗さ測定システム インフィニートフォーカス G5