「ハイバリアPFAチューブ」は、半導体製造設備の薬液供給に最適な機能性の高いPFAチューブです。チューブの透視性を妨げる白濁化や、ブリスター発生による劣化を防ぐために開発されました。原料のPFAの使用量が従来の半分近くで済むため、深刻なPFAの原料不足に対するソリューションとして新たに注目されています。

特長

  • バリア性に優れるフッ素ポリマーチューブです。
  • 内層にはフッ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性フッ素ポリマーを使用したマルチレイヤ―チューブです。
  • 接液面の内層は高純度PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性 (純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性) を備えています。
  • バリア性フッ素ポリマーは、酸 (塩酸・硝酸等) 、アンモニアのバリア性に優れます。
  • 従来のPFAチューブ配管に比べ酸の透過を抑制します。
  • 周辺環境への悪影響を低減します。
  • 長期にわたり液体の透視性を維持できます。
  • 従来のPFAチューブと同等の機械特性を有しています。
  • 原料投入から整形・梱包まで一貫して管理されたクリーン環境で製造しています。

用途・アプリケーション例

  • 半導体製造設備の薬液供給装置の配管
  • 洗浄装置内の薬液チューブの素材
環境にも工数にもやさしい !
 
「ハイバリアPFAチューブ」は、PFAチューブの欠点を補い、チューブを長寿命化するとともに周辺環境の汚染を防止し、安全性を向上させています。
チューブの長寿命化は、単に部品交換の回数が少なくなり部品コストが減るだけでなく、交換やメンテナンスに関わる工事頻度が減ることで人件費の削減を実現します。さらには工事による生産ライン停止時間も削減できるため生産性の向上にも貢献します。
PFAチューブと同様の接続・加工が可能で、カタログ製品のため小ロットのご注文にもスピーディにお応えすることができます。