2017/06/06 HOTな製品情報 コフロック株式会社 流量測定 ±1.5% 保証 !腐食性ガスにも対応した表示器付デジタルマスフロメータ EXE-FLOW(エグセフロー)は Exact『正確な流量計測』、Excellent『優れた機能』をコンセプトに製品化した表示器がついた電子式流量計です。 小流量(0.2ml~10ml/min)から大流量(4L~200L/min)までカバーしています。 流量測定精度 ±1.5% 保証し、腐食性ガスが使用できます。ガスの種類はスイッチで切替可能で利便性が広がりました。 EXE-FLOW MODEL EX-700 SERIES特徴 流量測定精度 ±1.5% 保証 腐食性ガス使用可能 ガス種切替スイッチ付 パーティクルフリー 小型軽量、単電源接続で簡単操作/RS-485 通信機能標準搭載 接ガス部 SUS316L、FKM、PTFE のため腐食性ガス対応可能 RoHS、CE 規格対応 標準以外の流量レンジも製作可能 仕様(MODEL EX-700 SERIES) センサー方式 熱式センサー(EX センサー) 対象ガス N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2など(腐食性ガスにも対応) 流量レンジ(N2)※1 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM 50/100/200SLM 応答性 2sec 以内 精度 ± 1.5% F.S.(25℃) 再現性 ± 0.2% F.S. 耐圧 980kPa(G) 外部リークレート(He) 1.0 × 10-8 Pa・m3/sec 以下 温度 使用温度 5 ~ 50 ℃ 許容保存温度 -10 ~ 60 ℃ 排ガス部材 SUS316、SUS316L、PTFE、FKM 流量出力信号 4-20mA 標準 (0-5V, 1-5V オプション注文時選択) デジタル通信 RS485(MODBUS プロトコル、RTU モード) イベント出力 NPN オープンコレクタ出力 2 段、積算パルス出力 最大定格 DC30V 50mA 異種ガス測定機能 表示器にてガス種選択(CF 換算対応) 所要電源(DC) +24VDC(± 10%)100mA 以下 継手 ※2 1/4F900(標準) 3/8F900(標準) 精密ニードルバルブ(オプション) MODEL 2412 MODEL 2412D 寸法 W76×D30×H80 W76×D34×H90 ※1 流量校正単位 SCCM、SLM は、質量流量を 0℃、1atm 状態での体積流量 cc/min、L/min に換算した値になります。 ※2 その他継手については別途お問い合わせください。 ※本仕様及び外形寸法は、予告なく変更することがあります。 マスフローの原理についてマスフローに使用されている流量センサーは、一般的には熱式流量センサーと呼ばれるものです。 流量センサーの仕組み図 1 センサー部の構造センサー部である毛細管図 1 には、抵抗温度係数が大きい抵抗体を上流側(Rus)、下流側(Rds にそれぞれ巻きつけてあります。これに電流を流すことにより、2 つの抵抗体は発熱します。 この時毛細管の内部に流体が流れない状態ですと、上流、下流ともに同じ温度でバランスします。 (図 1 グラフの実線、流量ゼロ=マスフローで一般的にいうゼロ点の位置になります) この状態で流体が流れ始めると、温度分布が図 1 グラフの破線のように変化します。 このとき上流側は流体により熱を奪われ、逆に下流側には上流側から奪われた熱があたえられることになります。 つまり、上流と下流の間に温度差(T)が生じるということです。 マスフローメーター構造図 2 マスフローメータの構造略図この温度差(T)が流体の質量流量に対して、関数関係であることに着目し、各々の抵抗値の変化を電気信 号として取り出し、増幅、補正することにより、ある条件下で質量流量を計測できる熱式質量流量計として機能するのです。これがマスフローメータ図 2 です。 図 3 マスフローコントローラ構造略図 さらに マスフローコントローラ図 3 では、センサー部から出力された流量信号を基に、外部からの流量設定信号との比較制御で高速、高分解能のピエゾもしくはソレノイドアクュエーターにより流量制御バルブの開度をコントロールすることで、温度、圧力等の諸条件が変化してもほとんど影響を受けない、安定した質量流量制御を行うことができるのです。 この記事に関するお問い合わせはこちら 問い合わせする コフロック株式会社のHOTな製品情報 2017/06/06 HOTな製品情報 流量測定 ±1.5% 保証 !腐食性ガスにも対応した表示器付デジタルマスフロメータ 足立 正二安藤 真安藤 繁青木 徹藤嶋 正彦古川 怜後藤 一宏濱﨑 利彦早川 美由紀堀田 智哉生田 幸士大西 公平䕃山 晶久神吉 博金子 成彦川﨑 和寛北原 美麗小林 正生久保田 信熊谷 卓牧 昌次郎万代 栄一郎増本 健松下 修己松浦 謙一郎光藤 昭男水野 勉森本 吉春長井 昭二中村 昌允西田 麻美西村 昌浩小畑 きいち小川 貴弘岡田 圭一岡本 浩和大西 徹弥大佐古 伊知郎斉藤 好晴坂井 孝博櫻井 栄男島本 治白井 泰史園井 健二宋 欣光Steven D. Glaser杉田 美保子田畑 和文タック 川本竹内 三保子瀧本 孝治田中 正人内海 政春上島 敬人山田 明山田 一米山 猛吉田 健司結城 宏信 2024年10月2024年9月2024年8月2024年7月2024年6月2024年5月2024年4月2024年3月2024年2月2024年1月2023年12月2023年11月2023年10月2023年9月2023年8月2023年7月2023年6月2023年5月2023年4月2023年3月2023年2月2023年1月2022年12月2022年11月2022年10月2022年9月2022年8月2022年7月2022年6月2022年5月2022年4月2022年3月2022年2月2022年1月2021年12月2021年11月2021年10月2021年9月2021年8月2021年7月2021年6月2021年5月2021年4月2021年3月2021年2月2021年1月2020年12月2020年11月2020年10月2020年9月2020年8月2020年7月2020年6月2020年5月2020年4月2020年3月2020年2月2020年1月2019年12月2019年11月2019年10月2019年9月2019年8月2019年7月2019年6月2019年5月2019年4月2019年3月2019年2月2019年1月2018年12月2018年11月2018年10月2018年9月2018年8月2018年7月2018年6月2018年5月2018年4月2018年3月2018年2月2018年1月2017年12月2017年11月2017年10月2017年9月2017年8月2017年7月2017年6月2017年5月2017年4月2017年3月2017年2月2017年1月2016年12月2016年11月2016年10月2016年9月2016年8月2016年7月2016年6月2016年5月2016年4月2016年3月2016年2月2016年1月2015年12月2015年11月2015年10月2015年9月2015年8月2015年7月2015年6月2015年5月2015年4月2015年3月2015年2月2015年1月2014年12月2014年11月2014年10月2014年9月2014年8月2014年7月2014年6月2014年5月2014年4月2014年3月2014年2月2014年1月2013年12月2013年11月2013年10月2013年9月2013年8月2013年7月2013年6月2013年5月2013年4月2013年3月2013年2月2013年1月2012年12月2012年11月2012年10月2012年9月2012年8月2012年7月2012年6月2012年5月2012年4月2012年3月2012年2月2012年1月2011年12月2011年11月2011年10月2011年9月2011年8月2011年7月2011年6月2011年5月2011年4月2011年3月2011年2月2011年1月2010年12月2010年11月2010年10月2010年9月2010年8月2010年7月2010年6月2010年5月2010年4月2010年3月2010年2月2010年1月2009年12月