センサー部である毛細管図 1 には、抵抗温度係数が大きい抵抗体を上流側（Rus）、下流側（Rds にそれぞれ巻きつけてあります。これに電流を流すことにより、2 つの抵抗体は発熱します。

この時毛細管の内部に流体が流れない状態ですと、上流、下流ともに同じ温度でバランスします。

（図 1 グラフの実線、流量ゼロ＝マスフローで一般的にいうゼロ点の位置になります）

この状態で流体が流れ始めると、温度分布が図 1 グラフの破線のように変化します。

このとき上流側は流体により熱を奪われ、逆に下流側には上流側から奪われた熱があたえられることになります。

つまり、上流と下流の間に温度差（T）が生じるということです。

この温度差（T）が流体の質量流量に対して、関数関係であることに着目し、各々の抵抗値の変化を電気信 号として取り出し、増幅、補正することにより、ある条件下で質量流量を計測できる熱式質量流量計として機能するのです。これがマスフローメータ図 2 です。

さらに マスフローコントローラ図 3 では、センサー部から出力された流量信号を基に、外部からの流量設定信号との比較制御で高速、高分解能のピエゾもしくはソレノイドアクュエーターにより流量制御バルブの開度をコントロールすることで、温度、圧力等の諸条件が変化してもほとんど影響を受けない、安定した質量流量制御を行うことができるのです。