405nmレーザーとカラーコンフォーカルを融合させた、次世代レーザーマイクロスコープです。ナノオーダーの超微細構造も鮮明に可視化、波長選択で様々な観測・測定が可能です。一般的なレーザー顕微鏡に比べ、約1.6倍の広視野により作業の効率化が図れます。光干渉形状測定、反射分光膜圧測定、さらに業界最高速のフレームレートとあらゆる観測・測定領域を1台で備えた汎用性の高い製品です。

5つの機能を1台で 高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅

特徴

  • 高分解能:405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化
  • 広視野観察:一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視野観察による作業効率の向上
  • ナノオーダー測定:光干渉測定、反射分光膜厚測定、AFMによるナノレベル構造の測定(AFMはオプション)
  • 波長選択:6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニーズに対応した観察・測定を実現
  • 高精細カラー観察:カラーコンフォーカルの特長である焦点深度の深い高精細カラー画像の取得

用途

  • 各種材料の観察及び形状測定
  • 半導体材料&デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など